2026年7月23日,中国“芯片刻刀”相关技术突破登上百度热搜榜首,山东滨化集团正式宣布实现6N等级(99.9999%)半导体用高纯氟化氢的规模化量产,一举打破海外长达二十余年的技术垄断,为国内先进制程芯片制造筑牢了供应链安全屏障。
一、什么是“芯片刻刀”
这里的“芯片刻刀”指的是6N级高纯氟化氢(电子级氢氟酸),它是芯片制造环节的核心关键材料,广泛应用于晶圆蚀刻、表面清洗工序,其纯度直接决定芯片的良率与性能,是28纳米及以下先进制程的刚需原料,微量杂质就可能导致整片晶圆报废。
二、本次突破的核心亮点
极致纯度突破:产品纯度达到99.9999%,每100万个分子中杂质不超过1个,关键金属离子杂质含量低于1ppb,适配28纳米及以下先进制程,甚至已顺利导入14纳米先进制程半导体终端客户。
全链条自主可控:滨化集团自主研发多重精馏耦合系统,搭建“分子级分拣机”实现碳氧杂质深度脱除,同时配套自主开发的密闭精准取样系统和高灵敏分析方案,解决了生产、储运全链条的二次污染难题。
量产资质完备:已建成50吨/年高纯氟化氢钢瓶充装线,拿到官方颁发的气瓶充装许可证,完成从实验室样品到规模化稳定供货的跨越,产品指标优于国际SEMI-G5最高标准。
产业链协同突破:同日亮相的还有超高纯电子级氢氟酸产品,由滨化集团联合天津大学共同研发,关键技术指标达到国际先进水平,实现从干法到湿法工艺的关键材料全覆盖。
三、产业意义
此前西方垄断6N级高纯氟化氢全球约80%的市场份额,产品售价超200万元/吨,国内芯片企业长期面临供应链不稳定、采购成本居高不下的困境。本次国产材料落地,直接打破海外技术垄断,大幅降低国内晶圆厂的进口依赖,补齐了我国半导体先进制程上游关键材料的短板,标志着中国半导体产业正从“有没有”向“好不好”的阶段迈进。

皖公网安备 34011102002444号