据辽宁省政府网站消息，为进一步加快推进集成电路装备产业发展，近日，我省印发《辽宁省培育壮大集成电路装备产业集群若干措施》（以下简称《若干措施》），围绕支持企业培育、研发创新、人才引育、创新投融资、土地供给等方面出台14条举措。
支持企业做大规模。《若干措施》指出，对上年度营业收入首次突破1亿元、5亿元、10亿元、20亿元、30亿元、50亿元的企业，分别给予200万元、500万元、1000万元、2000万元、3000万元、5000万元的一次性奖励，每上一个台阶奖励一次。支持企业投资项目建设，对投资新建在建、增资扩产的集成电路装备整机和关键零部件项目，按实际投入总额的30%给予补助，同一项目最高补助资金1亿元。
鼓励企业以商招商。《若干措施》鼓励企业围绕产业链、供应链需求，引进省外具有独立法人资格的集成电路装备整机及关键零部件配套企业（项目）入驻辽宁省集成电路装备及零部件产业园。对投资额5000万元（含）以上的企业（项目），按照实际投资的5%，给予招商企业最高1000万元奖励。对首次纳入集成电路装备产业链重点企业供应体系，且首次签订采购合同后，实际履约金额（不含税）在300万元（含）以上的，按照实际履约金额的10%给予采购企业奖励；按照实际履约金额的10%给予供应链配套企业奖励。对进入国产集成电路产线和集成电路装备验证环节的企业，按照上年度实际发生的测试验证费用，给予整机企业30%的奖励，最高500万元；给予零部件企业20%的奖励，最高200万元。
助力企业不断创新。《若干措施》指出，对集成电路装备整机和关键零部件制造企业首次销售自主研制的集成电路装备整机或核心零部件产品，按照单台（套）或单批次合同额的30%给予奖励。对上一年度营业收入在5亿元（含）以下、研发投入比例不低于10%，营业收入在5亿元（不含）至10亿元（含）之间、研发投入不低于7%，营业收入在10亿元（不含）以上、研发投入不低于5%的集成电路装备整机企业和关键零部件制造企业，给予实际研发投入的30%、最高1000万元的研发补助。同时，支持企业承担国家重大专项，鼓励企业加强创新平台建设。
帮助企业引育人才。《若干措施》鼓励企业打造人才培育体系，建设实训基地，设立投资基金。对在当地缴纳个人所得税满一年的集成电路装备整机和关键零部件制造企业高端人才和紧缺人才，对个人所得税实际税负超过15%的部分，给予一定比例奖励。在“兴辽英才计划”中增加集成电路人才项目，专门对企业高端人才给予支持奖励。支持重点企业与高校、职业技术院校共建集成电路学生实践教学基地，并给予补贴。《若干措施》还要求各地结合实际制定具体措施，加大对集成电路装备和关键零部件企业高端人才在住房保障、医疗待遇、子女就学等方面支持力度。